Laboratoire de micro et nanofabrication

D’envergure internationale, le Laboratoire de micro et nanofabrication des matériaux (LMN) permet, entre autres, la synthèse et la caractérisation de nanomatériaux, la conception et la mise au point de nanodispositifs pour la photonique, l’électronique ou le génie biomédical.

Le Laboratoire de micro et nanofabrication (LMN) comprend notamment un système de lithographie par faisceau d’électrons sans équivalent ailleurs au Canada ainsi qu’un système de gravure par plasma. Le LMN est une installation de recherche de pointe de l’Infrastructure de nanostructures et de femtoscience (INF).

Le Laboratoire de micro et nanofabrication des matériaux possède une salle blanche de 250 m2 et des équipements à la fine pointe de la technologie. Il est composé de trois unités de recherche et de développement complémentaires : 

Lithographie

Lithographie par faisceau d’électrons

  • Lithographie par faisceau d’électron, Vistec VB6 UHR EWF

 

Lithographie UV

  • Lithographie laser, Heidelberg DWL-66 FS
  • Aligneur de masques, EVG620

 

Dépôt de gravure 

Synthèse de couches minces et de nanomatériaux

  • Dépôt par ablation Laser, PLD conventionnel
  • Dépôt par ablation Laser automatisé, PVD3000
  • Évaporateur e-beam Kurt J. Lesker AXXIS
  • Pulvérisateur cathodique, Kurt J. Lesker CMS-18
  • Spin-coater automatisé, Spinball Site Services
  • Spin-coater, Brewer CEE100
  • PECVD, Oxford Instruments

 

Gravure nanométrique

  • Graveur ICP Chloré, Oxford Instruments PlasmaLab System100
  • Graveur ICP Fluoré, Oxford Instruments PlasmaLab System100
  • Graveur ICP Silicium, Oxford Instruments PlasmaLab System100
  • Asher Gasonics Aura 1000

 

Implantation Ionique et traitements de surfaces

  • Implanteur ionique, IMC 200
  • Fournaise Tystar Tytan
  • Rapid Thermal Annealing (RTA) AG610
  • Polisseuse CP3000
  • Polisseuse Ultra Tec MultiPol
  • Bancs humides Reynolds Tech et Fineline

 

Autre :

  • Scie Mécanique, DAD3350

 

Caractérisation de nanomatériaux et nanodispositifs

Caractérisation de nanomatériaux

  • Spectroscope des Photo-électrons par Rayons X (XPS), VG Escalab 220i XL
  • Diffractomètre des rayons X (DRX), Panalytical X-Pert PRO MRD
  • Diffractomètre des rayons X (DRX), Bruker D8 Advance

 

Microscopie

  • Microscope Électronique en Transmission Dynamique (METD), Jeol JEM-2100 Plus
  • Microscope Électronique en Transmission Ultrarapide (METU), Jeol JEM-2100 Plus
  • Faisceau d’Ions Focalisé intégré avec un microscopie électronique à Balayage (FIB/MEB), Tescan LYRA 3 XMH
  • Microscope à Balayage de Sonde (AFM / STM), Veeco Multimode (Digital Instruments)
  • Microscope à Force Atomique (AFM), Veeco Enviroscope (Digital Instruments)
  • Microscope à Balayage de Sonde (AFM / STM) travaillant sous ultravide, Jeol 4500 UHV AFM/STM
  • Microscope à Balayage de Sonde (AFM / STM) travaillant sous ultravide, Omicron Nanotechnology VT UHV STM / AFM
  • Microscope à Force Atomique (AFM), XE-150 (Park Systems)
  • Microscopie Électronique à Balayage (MEB), Tescan Vega3 LMH
  • Microscope Électronique à Balayage (MEB), Jeol JSM-7401F
  • Microscope Optique, Nikon Eclipse L200
  • Profilomètre, Ambios XP2

 

Nanodispositifs – Caractérisation optique

  • Caractérisation Électro-optique de matériaux
  • Caractérisation et mise en forme d’impulsions optiques
  • Caractérisations linéaires et non-linéaires de dispositifs nanophotoniques
  • Ellipsomètre, J.A. Woolam M-2000
  • Ellipsomètre, J.A. Woolam VVASE
  • Mesure de couplage par prisme, Metricon 2010/M

 

Nanodispositifs – Caractérisation électrique

  • Wire-bonder, KS4523
  • Probe Station, Alessi 4500
  • Probe Station, Cascades Summit 11000

Tous les outils sont accessibles à la communauté scientifique que ce soit pour une utilisation dans le cadre de projets académiques ou dans le cadre de contrats pour le secteur privé. Il est possible aussi de demander au personnel de réaliser des projets impliquant plusieurs opérations ou étapes de fabrication.

Contactez-nous pour en savoir plus sur nos services et tarifs.

Ayant des retombées scientifiques et technologiques dans les secteurs du biomédical, de l’aérospatial et du transport intelligent, le Laboratoire de micro et nanofabrication des matériaux donne l’occasion d’explorer de nouveaux champs de recherche dans le domaine des nanotechnologies. Il permet notamment la réalisation de prototypes avancés dans les domaines de la microélectronique, de l’électronique radiofréquence et de la photonique pour les futurs systèmes de télécommunications.

Cette infrastructure de recherche est financée par la Fondation canadienne pour l’innovation (FCI).

Personnes-ressources

Mohamed Chaker
Professeur et responsable scientifique
Téléphone : 514 228-6926
Courriel : chaker@emt.inrs.ca

Boris Le Drogoff
Coordonnateur technique
Téléphone : 514 228-6867
Courriel : boris.ledrogoff@emt.inrs.ca

Laboratoire de micro et nanofabrication (LMN)

Institut national de la recherche scientifique

Centre Énergie Matériaux Télécommunications

1650, boulevard Lionel-Boulet

Varennes (Québec)  J3X 1S2

Canada

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Infrastructure de nanostructures et de femtoscience (INF)