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- Laboratoire de microscopie électronique à balayage
Le Laboratoire de microscopie électronique à balayage (MEB) permet d’analyser les interactions électrons-matière à l’aide d’équipements de pointe capables de produire des images en haute résolution de la surface d’un échantillon et de sa composition.
Le microscope électronique à balayage Zeiss EVO® 50 SmartSEM de l’INRS permet d’obtenir des images en haute résolution de la surface et de la composition de pratiquement tous les matériaux solides à des grossissements allant de 100 X à 60 000 X et une grande profondeur de champ.
Le microscope électronique à balayage Zeiss EVO® 50 SmartSEM de l’INRS est équipé d’une large gamme de détecteurs qui lui confère une grande polyvalence d’analyse, soit :
Voici les détails techniques du microscope à balayage électronique Zeiss EVO® 50 SmartSEM :
L’infrastructure est accessible à tous : étudiantes et étudiants et chercheuses et chercheurs des milieux universitaires, industriels ou gouvernementaux. Il est également possible de l’utiliser, ainsi que notre expertise, dans le cadre de collaborations externes ou de contrats de recherche et développement.
Des formations d’une durée approximative de 2 heures sont offertes aux nouveaux usagers désirant manipuler seuls le microscope électronique à balayage.
La tarification dépend de la catégorie des utilisateurs : INRS, autres universités et autres utilisateurs. Elle est aussi basée en fonction de l’utilisation : MEB seulement ou MEB + EDS par exemple. Des frais fixes peuvent s’ajouter selon la méthode de préparation des échantillons.
Type d’utilisateur | Non assisté* | Assisté** | Supervision technique*** |
INRS | 31,80 $ | 65,60 $ | 99,30 $ |
Collaborateur | 39,80 $ | 82,00 $ | 124,10 $ |
Universitaire | 47,70 $ | 98,30 $ | 149,00 $ |
Externe | 63,60 $ | 131,10 $ | 198,60 $ |
SPI module | Non assisté* | Supervision technique*** |
Placage or | 2,80 $ | 19,70 $ |
Placage carbone | 1,50 $ | 18,30 $ |
ACE 600 | Non assisté* | Supervision technique*** |
Placage platine | 10,60 $ | 27,50 $ |
Placage carbone | 7,70 $ | 24,60 $ |
Carbone double faces 12 mm | 0,40 $ |
Carbone double faces 25 mm | 1,30 $ |
Frais de facturation | 16,90 $ |
*Non assisté : L’utilisateur est seul avec l’instrument.
**Assisté : Une assistance est fournie à l’utilisateur pour des dépannages et réponses à des questions ponctuelles.
***Supervision technique : Un technicien est présent en permanence pour piloter la machine, mais ne fournit aucun soutien scientifique.
Contactez-nous pour en savoir plus.
Afin de travailler dans de bonnes conditions, seuls sont acceptés les échantillons exempts de toute eau, de solvants ou d’autres matériaux qui pourraient se vaporiser une fois le vide atteint.
Ce microscope électronique à balayage peut fonctionner en pression contrôlée pour l’observation dans un vide allant de 10-400 Pa. Ceci permet l’observation d’échantillon sans métallisation préalable.
Si nécessaire, les échantillons non-conducteurs sont enduits d’une fine couche d’or-palladium (20-30 nm) où de carbone de sorte que leurs surfaces soient conductrices. La couche d’Au/Pd est appliquée par pulvérisation cathodique en utilisant un SPITM Sputter Coater Module.
Le carbone est appliqué par évaporation en utilisant un SPITM Carbon Coater System.
Observation en électrons secondaires (topographie)
Les échantillons solides sont montés sur des plots en aluminium de 12,7 mm ou 25,4 mm de diamètre à l’aide de pastilles de carbone adhésives doubles-faces, puis placés sur un carrousel pouvant contenir jusqu’à 8 échantillons.
Observation en électrons rétrodiffusés (contraste de phase)
L’idéal est d’analyser des échantillons en lames minces polies, mais il est possible d’analyser de la poudre, des grains et divers autres échantillons conducteurs ou non.
En ce qui concerne les lames minces, deux types de supports sont disponibles : un support individuel et un support huit lames.
Voici deux exemples d’application du microscope électronique à balayage :
Avec l’aimable autorisation d’Esther Asselin (Ressources naturelles Canada)
Photos : P. Francus et J.-F. Crémer, Centre Eau Terre Environnement de l’INRS
Cette infrastructure a été acquise grâce à une subvention de la Fondation canadienne pour l’innovation (FCI) et le gouvernement du Québec.
Arnaud De Coninck
Responsable technique
Téléphone : 418 654-3704
arnaud.de_coninck@inrs.ca
Pierre Francus
Professeur et responsable scientifique
Téléphone : 418 654-3704
pierre.francus@inrs.ca
Boutaina El Jai
Conseillère partenariat-valorisation
Téléphone : 418 654-2531
boutaina.el_jai@inrs.ca
Laboratoire de microscopie électronique à balayage (MEB)
Institut national de la recherche scientifique
Centre Eau Terre Environnement
490, rue de la Couronne
Québec (Québec) G1K 9A9
CANADA